问答题

简答题 90年代以前,哪些因素影响铜用于IC工艺

【参考答案】

器件尺寸;器件密度;化学机械研磨工艺;多重金属连线;
铝金属的电导率在金属中排第四,仅次于银、铜、金。铝是这四......

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