问答题

简答题 影响热氧化层电性的电荷来源有哪些类型?降低这些电荷浓度的措施?

【参考答案】

(1)可动离子电荷(Qm):加强工艺卫生方可以避免Na+沾污;也可采用掺氯氧化,固定Na+离子;高纯试剂
(2......

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