简答题 在量测Contact /Via（是指metal与metal之间的连接）的接触窗开的好不好时, 我们是利用什么电性参数来得知的?

Top metal和inter metal的厚度，线宽有何不同?

问答题Top metal和inter metal的厚度，线宽有何不同?

为何各金属层之间的连接大多都是采用CVD的W-plug（钨插塞）？

问答题为何各金属层之间的连接大多都是采用CVD的W-plug（钨插塞）？

Glue layer（粘合层）的沉积所处的位置、成分、薄膜沉积方法是什么？

问答题Glue layer（粘合层）的沉积所处的位置、成分、薄膜沉积方法是什么？