名词解释
住扩散是将预扩散引入的杂质作为扩散源，在较高的温度下进行扩散，扩散的同时也往往进行氧化。目的是为了控制表面浓度和扩散深度......
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预淀积
名词解释预淀积
两步法扩散
名词解释两步法扩散
有限表面源扩散
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