在CMP设备中被广泛采用的终点检测方法是光学干涉终点检测。

电机电流终点检测不适合用作层间介质的化学机械平坦化。

判断题电机电流终点检测不适合用作层间介质的化学机械平坦化。

反刻是一种传统的平坦化技术，它能够实现全局平坦化。

判断题反刻是一种传统的平坦化技术，它能够实现全局平坦化。

平滑是一种平坦化类型，它只能使台阶角度圆滑和侧壁倾斜，但高度没有显著变化。

判断题平滑是一种平坦化类型，它只能使台阶角度圆滑和侧壁倾斜，但高度没有显著变化。