问答题
①刻蚀速率； ②刻蚀偏差； ③选择比； ④均匀性； ⑤刻蚀剖面。
简述法刻蚀的优缺点（与湿法刻蚀比）。
问答题简述法刻蚀的优缺点（与湿法刻蚀比）。
简述什么是干法刻蚀与湿法刻蚀。
问答题简述什么是干法刻蚀与湿法刻蚀。
简述刻蚀的概念、工艺目的、分类、应用。
问答题简述刻蚀的概念、工艺目的、分类、应用。
