去胶时，无金属表面和金属表面会进行区分，进而采用不同的去胶方法。

金属钨常常采用CVD法来制备。

判断题金属钨常常采用CVD法来制备。

解决铝互连中肖特基接触的方法是在电极引出部分进行轻掺杂。

判断题解决铝互连中肖特基接触的方法是在电极引出部分进行轻掺杂。

电阻丝加热蒸发可以淀积难熔金属。

判断题电阻丝加热蒸发可以淀积难熔金属。