金属钨常常采用CVD法来制备。

解决铝互连中肖特基接触的方法是在电极引出部分进行轻掺杂。

判断题解决铝互连中肖特基接触的方法是在电极引出部分进行轻掺杂。

电阻丝加热蒸发可以淀积难熔金属。

判断题电阻丝加热蒸发可以淀积难熔金属。

软烘又叫前烘，该工序仅可在烘箱中进行。

判断题软烘又叫前烘，该工序仅可在烘箱中进行。