扩散的杂质分布包括（）和有限表面源分布。

根据扩散系数的定义，其受以下哪个因素的影响最大？（）A.杂质类型B.扩散时间C.杂质激活能D.温度

单项选择题根据扩散系数的定义，其受以下哪个因素的影响最大？（）

扩散的微观机制包括间隙式扩散和（）。A.面扩散B.均匀扩散C.梯度扩散D.替位式扩散

单项选择题扩散的微观机制包括间隙式扩散和（）。

氧化硅在集成电路制造中有哪些应用？（）A.屏蔽层B.栅氧化层C.牺牲层D.衬垫层

多项选择题氧化硅在集成电路制造中有哪些应用？（）