CVD常用于淀积介质薄膜。

VPE过程其实就是一种CVD的过程。

判断题VPE过程其实就是一种CVD的过程。

CVD淀积二氧化硅的原理跟热氧化相同。

判断题CVD淀积二氧化硅的原理跟热氧化相同。

下列方法属于热氧化制备二氧化硅的方法是（）A.化学汽相沉淀法B.原子层沉淀法C.水汽氧化D.氢氧合成氧化

多项选择题下列方法属于热氧化制备二氧化硅的方法是（）