填空题
氮化硅；硅粉
坩埚喷涂所用材料化学式为（）。
填空题坩埚喷涂所用材料化学式为（）。
多晶铸锭过程中氧杂质主要来源（）。
填空题多晶铸锭过程中氧杂质主要来源（）。
M2硅锭生产判断熔化主要为（）耦丝。
填空题M2硅锭生产判断熔化主要为（）耦丝。
