问答题
光刻（photolithography）就是将掩模版（光刻版）上的几何图形转移到覆盖在半导体衬底表面的对光辐照敏感薄膜材......
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以铝互连系统作为一种电路芯片的电连系统时，若分别采用真空蒸镀和磁控溅射工艺淀积铝膜，应分别从哪几方面来提高其台...
问答题以铝互连系统作为一种电路芯片的电连系统时，若分别采用真空蒸镀和磁控溅射工艺淀积铝膜，应分别从哪几方面来提高其台阶覆盖特性？
解释为什么薄膜应力与测量时薄膜的温度有关？为什么？
问答题解释为什么薄膜应力与测量时薄膜的温度有关？为什么？
比较同等掺杂浓度多晶硅和单晶硅电阻率的大小？解释不同的原因。
问答题比较同等掺杂浓度多晶硅和单晶硅电阻率的大小？解释不同的原因。
