简答题 陈述分辨率公式。影响光刻分辨率的三个参数？

什么是数值孔径（NA），陈述它的公式，包括近似公式？

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解释透镜压缩是怎么发生的，它产生了什么问题？

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DUV波长曝光时使用哪种透镜材料？

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