问答题
一种合适的透镜材料是熔融石英，他是深紫外波长范围内的较少的光吸收，氟化钙正在作为一种可能的候选透镜材料。
典型的DUV光刻胶曝光剂量的宽容度是多少？
问答题典型的DUV光刻胶曝光剂量的宽容度是多少？
哪种激光器用做248nm的光源，193nm的光源是什么？
问答题哪种激光器用做248nm的光源，193nm的光源是什么？
如果光刻胶对光的吸收过多侧墙会怎样？
问答题如果光刻胶对光的吸收过多侧墙会怎样？
