问答题
透镜收集衍射光的能力被称做透镜的数值孔径,NA=(n)t透镜的半径除以透镜的焦长。
解释透镜压缩是怎么发生的,它产生了什么问题?
问答题解释透镜压缩是怎么发生的,它产生了什么问题?
DUV波长曝光时使用哪种透镜材料?
问答题DUV波长曝光时使用哪种透镜材料?
典型的DUV光刻胶曝光剂量的宽容度是多少?
问答题典型的DUV光刻胶曝光剂量的宽容度是多少?