简答题 CZ法提单晶的工艺流程。说明CZ法和FZ法。比较单晶硅锭CZ、MCZ和FZ三种生长方法的优缺点。

缩写中文含义 APCVD          HDPCVD LPCVD      PECVD PVD      ...

问答题

缩写中文含义
APCVD         
HDPCVD
LPCVD     
PECVD
PVD       
BJT
CD          
CMOS
CMP
MIC
ILD  
MBE
SOI     
DUV
MOCVD
BSG
PSG
BPSG
RTP
RTA
IC   
LOCOS
STI  
LI
VLSI
CA
FIB
ARC
ASIC
RIE
FIB
EUV
LDD

为溅射做一个简短的解释，并描述它的工作方式？溅射适合于合金淀积吗？溅射淀积的优点是什么？

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什么是阻挡层金肩？阻挡层材料的基本特性是什么？哪种金属常被用做阻挡层金属？

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