问答题
溅射是物理气相淀积形式之一，是一种薄膜淀积技术。工作方式：在溅射过程中，高能粒子撞击具有高纯度的靶材料固体平......
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什么是阻挡层金肩？阻挡层材料的基本特性是什么？哪种金属常被用做阻挡层金属？
问答题什么是阻挡层金肩？阻挡层材料的基本特性是什么？哪种金属常被用做阻挡层金属？
列出并讨论引入铜金属化的五大优点。
问答题列出并讨论引入铜金属化的五大优点。
描述沟道效应。列举并简要解释控制沟道效应的三种机制。
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