简答题 列举用于硅片制造的5种常用掺杂。

列出并阐述刻蚀多晶硅的三个步骤。

问答题列出并阐述刻蚀多晶硅的三个步骤。

哪种化学气体通常用来刻蚀多晶硅，为什么这种化学气体替代了氟基化学气体？

问答题哪种化学气体通常用来刻蚀多晶硅，为什么这种化学气体替代了氟基化学气体？

描述平板反应器。

问答题描述平板反应器。