名词解释
杂质扩散浓度分布曲线与衬底掺杂浓度曲线交点的位置称为结深。
说明扩散杂质的高斯分布特点（有限源扩散属于此分布）
问答题
说明扩散杂质的余误差函数分布特点（恒定表面源扩散属于此分布）
杂质在硅中有哪些扩散机制？
问答题杂质在硅中有哪些扩散机制？
