问答题
①干氧：Si＋O2 SiO2氧化速度慢，氧化层干燥、致......
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说明水汽氧化的化学反应，水汽氧化与干氧氧化相比速度是快还是慢？为什么？
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二氧化硅薄膜在集成电路中具有怎样的应用？
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STI隔离技术中，为什么采用干法离子刻蚀形成槽？
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