判断题
错误
Endura5500 degas腔的作用为（）。A.除湿气，增加结合力B.转向，确保wafer角度一致C.去除...
多项选择题Endura5500 degas腔的作用为（）。
A.除湿气，增加结合力B.转向，确保wafer角度一致C.去除晶圆表面的自然氧化层D.使晶圆表面温度迅速冷却
TiN膜的三个用途包括（）。A.用作阻挡层，防止Al/Si互溶导致漏电B.用作ARC、降低Al的反射率利于曝光...
多项选择题TiN膜的三个用途包括（）。
A.用作阻挡层，防止Al/Si互溶导致漏电B.用作ARC、降低Al的反射率利于曝光C.钨塞制程中作为钨的粘附层D.提升刻蚀的速率和均匀性
在线使用的靶材主要有（）。A.AlSiB.Ti/TiNC.AlCuD.纯Al
多项选择题在线使用的靶材主要有（）。
A.AlSiB.Ti/TiNC.AlCuD.纯Al
