更换靶材或维修时，DC及RF电源需保持关闭状态。

大气中含量最高的是氧气O2。

判断题大气中含量最高的是氧气O₂。

气体分子间每二次碰撞运动的平均距离称爲平均自由程。

判断题气体分子间每二次碰撞运动的平均距离称爲平均自由程。

真空系统最忌讳油污，但不怕水气。

判断题真空系统最忌讳油污，但不怕水气。