气体分子间每二次碰撞运动的平均距离称爲平均自由程。

真空系统最忌讳油污，但不怕水气。

判断题真空系统最忌讳油污，但不怕水气。

PVD是指化学气相沉积。

判断题PVD是指化学气相沉积。

Cryo pump（冷冻泵浦）必须定期通入N2做再生之用。

判断题Cryo pump（冷冻泵浦）必须定期通入N₂做再生之用。