简答题 列举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点，干法刻蚀的不足之处是什么？

干法刻蚀有高的还是低的选择比？

问答题干法刻蚀有高的还是低的选择比？

描述各同向性和各向异性刻蚀剖面，以及在每一种剖面中哪一种是希望的哪一种是不希望的？

问答题描述各同向性和各向异性刻蚀剖面，以及在每一种剖面中哪一种是希望的哪一种是不希望的？

列出按材料分类的三种主要干法刻蚀。

问答题列出按材料分类的三种主要干法刻蚀。