问答题
化学气相淀积（cvd） 电镀 物理气相淀积（pvd或溅射） 蒸发 旋涂方法
列举并描述薄膜生长的三个阶段。
问答题列举并描述薄膜生长的三个阶段。
RTP是热壁系统还是冷壁系统？
问答题RTP是热壁系统还是冷壁系统？
什么是快速热处理，相比于系统炉其6大优点是什么？
问答题什么是快速热处理，相比于系统炉其6大优点是什么？
