问答题
第一步是晶核形成：成束的稳定小晶核形成，这一步发生在起初少量原子或分子反应物结合起来，形成附着在硅片表面的分离的小膜层的......
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RTP是热壁系统还是冷壁系统？
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什么是快速热处理，相比于系统炉其6大优点是什么？
问答题什么是快速热处理，相比于系统炉其6大优点是什么？
简述立式炉系统的五部分。
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