多项选择题
A.晶圆划伤B.贴膜气泡C.蓝膜起皱D.蓝膜破损
下列关于划片的表述，正确的有（）。A.划片机运行过程中，切割路径和切割通道可以不重合B.激光切割后，必须配合机...
多项选择题下列关于划片的表述，正确的有（）。
A.划片机运行过程中，切割路径和切割通道可以不重合B.激光切割后，必须配合机械切割做进一步处理C.机械划片常用的圆形砂轮刀，是一种很薄的、刃口有金刚石颗粒的砂轮刀片D.划片机的对刀界面中，屏幕图像中间的绿线为法线（即基准线）
烘箱清洁时，需要清洗烘箱的（）等部位。A.内壁B.支撑架C.进/出气孔D.高温手套
多项选择题烘箱清洁时，需要清洗烘箱的（）等部位。
A.内壁B.支撑架C.进/出气孔D.高温手套
崩边晶圆划片时比较常见的异常现象，包括（）等A.正崩B.背崩C.掉角D.裂痕
多项选择题崩边晶圆划片时比较常见的异常现象，包括（）等
A.正崩B.背崩C.掉角D.裂痕
