问答题
描述并比较接触式光刻、接近式、投影式、步进式和电子束光刻。
问答题描述并比较接触式光刻、接近式、投影式、步进式和电子束光刻。
掩膜版的对准法则，说明对准误差有哪些？
问答题掩膜版的对准法则，说明对准误差有哪些？
简述光刻胶的分类，谈谈正胶和负胶的区别。
问答题简述光刻胶的分类，谈谈正胶和负胶的区别。
