问答题
掩膜版的对准法则，说明对准误差有哪些？
问答题掩膜版的对准法则，说明对准误差有哪些？
简述光刻胶的分类，谈谈正胶和负胶的区别。
问答题简述光刻胶的分类，谈谈正胶和负胶的区别。
列出光刻工艺的十个步骤，并简述每一步的目的。
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