判断题
正确
离子注入中高能量意味着注入硅片更深处,低能量则用于超浅结注入。
判断题离子注入中高能量意味着注入硅片更深处,低能量则用于超浅结注入。
离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度,因而在几乎所有应用中都优于扩散。
判断题离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度,因而在几乎所有应用中都优于扩散。
离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。
判断题离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。