‎以下不属于真空蒸发的局限性的是（）。

以下不属于电子束加热的优点的是（）。A.蒸发温度高B.工艺设备简单C.热效率高D.高纯度淀积

单项选择题以下不属于电子束加热的优点的是（）。

‏以下不属于真空蒸发过程的是（）。A.气相输运B.薄膜淀积C.薄膜定向D.加热蒸发

单项选择题‏以下不属于真空蒸发过程的是（）。

以下磷（P）源属于气态源的是（）。A.POCl3B.P2O5C.PH3D.PCl3

单项选择题以下磷（P）源属于气态源的是（）。