在常规热氧化工艺中干氧氧化的速度最快。

温度对氧化速率常数A、B都有影响，压强只影响氧化速率常数B。

判断题温度对氧化速率常数A、B都有影响，压强只影响氧化速率常数B。

硅热氧化形成SiO2体积将增加约1倍。

判断题硅热氧化形成SiO₂体积将增加约1倍。

SiO2作为扩散掩蔽膜需要满足一定的厚度要求。

判断题SiO₂作为扩散掩蔽膜需要满足一定的厚度要求。