多项选择题
A.厚度B.缺陷检测C.电阻率D.电导率
低压外延的气压可能是（）A.10paB.100paC.100kpD.10kpa
多项选择题低压外延的气压可能是（）
A.10paB.100paC.100kpD.10kpa
低压外延的优点是（）A.减小掺杂效应B.缩小过渡区域用于多层外延C.对外延温度有所下降D.降低成本
多项选择题低压外延的优点是（）
A.减小掺杂效应B.缩小过渡区域用于多层外延C.对外延温度有所下降D.降低成本
外延在半导体生产中的作用是（）A.实现杂质浓度突变B.优化衬底材料性能C.设计更加灵活D.让硅片更厚
多项选择题外延在半导体生产中的作用是（）
A.实现杂质浓度突变B.优化衬底材料性能C.设计更加灵活D.让硅片更厚
