低压外延的气压可能是（）

低压外延的优点是（）A.减小掺杂效应B.缩小过渡区域用于多层外延C.对外延温度有所下降D.降低成本

多项选择题低压外延的优点是（）

外延在半导体生产中的作用是（）A.实现杂质浓度突变B.优化衬底材料性能C.设计更加灵活D.让硅片更厚

多项选择题外延在半导体生产中的作用是（）

CMP工艺的三大关键因素是（）A.抛光机B.抛光液C.抛光盘D.抛光垫

多项选择题CMP工艺的三大关键因素是（）