切片是抛光片制备中一道重要的工序，因为这一工序基本上决定了硅片的四个重要参数，即晶向、（）、（）、（）。

离子注入设备主要由（）和聚焦阳极，偏束板，扫描器，靶室组成。A.离子发生器B.磁分析器C.加速器D.减速器

多项选择题离子注入设备主要由（）和聚焦阳极，偏束板，扫描器，靶室组成。

离子注入使用用来制作（）A.超浅结B.源漏注入C.深埋层D.阈值电压调整

多项选择题离子注入使用用来制作（）

离子注入后退火的目的是（）A.修复晶格损伤B.激活杂质C.提高硬度D.提高稳定性

多项选择题离子注入后退火的目的是（）