问答题
光刻。
列举用于硅片制造的5种常用掺杂。
问答题列举用于硅片制造的5种常用掺杂。
列出并阐述刻蚀多晶硅的三个步骤。
问答题列出并阐述刻蚀多晶硅的三个步骤。
哪种化学气体通常用来刻蚀多晶硅，为什么这种化学气体替代了氟基化学气体？
问答题哪种化学气体通常用来刻蚀多晶硅，为什么这种化学气体替代了氟基化学气体？
