在半导体产业界第一种类型的CVD是APCVD。

外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，即外延层。

判断题外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，即外延层。

LPCVD反应是受气体质量传输速度限制的。

判断题LPCVD反应是受气体质量传输速度限制的。

高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。

判断题高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。