真空蒸发设备由三大部分组成，分别是（）、（）、（）及（）系统。

真空蒸发的蒸发源有（）、（）、（）、（）等。

填空题真空蒸发的蒸发源有（）、（）、（）、（）等。

离子注入系统结构一般包括（）等部分。

填空题离子注入系统结构一般包括（）等部分。

离子注入在衬底中产生的损伤主要有（）等三种。

填空题离子注入在衬底中产生的损伤主要有（）等三种。