填空题
离子源、磁分析器、加速管、聚焦和扫描系统、靶室
离子注入在衬底中产生的损伤主要有（）等三种。
填空题离子注入在衬底中产生的损伤主要有（）等三种。
常规平面工艺扩散工序中的恒定表面源扩散过程中，杂质在体内满足（）函数分布。常规平面工艺扩散工序中的有限表面源扩...
填空题常规平面工艺扩散工序中的恒定表面源扩散过程中，杂质在体内满足（）函数分布。常规平面工艺扩散工序中的有限表面源扩散过程中，杂质在体内满足（）函数分布。
制备SiO2的方法有（）、（）、（）、（）、（）等。
填空题制备SiO2的方法有（）、（）、（）、（）、（）等。
