问答题

简答题简述两步扩散的含义与目的？

【参考答案】

为了同时满足对表面浓度、杂质总量以及结深等的要求，实际生产中常采用两步扩散工艺：第一步称为预扩散或预淀积，在较低的温度下......

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集成电路工艺原理