多项选择题
A.红外反射法B.电容法C.磨角法D.四探针法
外延层需要检测的参数有（）A.厚度B.缺陷检测C.电阻率D.电导率
多项选择题外延层需要检测的参数有（）
A.厚度B.缺陷检测C.电阻率D.电导率
低压外延的气压可能是（）A.10paB.100paC.100kpD.10kpa
多项选择题低压外延的气压可能是（）
A.10paB.100paC.100kpD.10kpa
低压外延的优点是（）A.减小掺杂效应B.缩小过渡区域用于多层外延C.对外延温度有所下降D.降低成本
多项选择题低压外延的优点是（）
A.减小掺杂效应B.缩小过渡区域用于多层外延C.对外延温度有所下降D.降低成本
