外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，分为同质外延和异质外延两大类。

在半导体产业界第一种类型的CVD是APCVD。

判断题在半导体产业界第一种类型的CVD是APCVD。

外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，即外延层。

判断题外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，即外延层。

LPCVD反应是受气体质量传输速度限制的。

判断题LPCVD反应是受气体质量传输速度限制的。