多项选择题
A.红外线辐射 B.X射线照射 C.加热 D.紫外光辐射 E.电子束扫描
晶片经过显影后进行坚膜,坚膜的主要作用有()。A.除去光刻胶中剩余的溶剂B.增强光刻胶对晶片表面的附着力C.提...
多项选择题晶片经过显影后进行坚膜,坚膜的主要作用有()。
A.除去光刻胶中剩余的溶剂 B.增强光刻胶对晶片表面的附着力 C.提高光刻胶的抗刻蚀能力 D.有利于以后的去胶工序 E.减少光刻胶的缺陷
有关光刻胶的显影下列说法错误的是()。A.负胶受显影液的影响比较小B.正胶受显影液的影响比较小C.正胶的曝光区...
多项选择题有关光刻胶的显影下列说法错误的是()。
A.负胶受显影液的影响比较小 B.正胶受显影液的影响比较小 C.正胶的曝光区将会膨胀变形 D.使用负胶可以得到更高的分辨率 E.负胶的曝光区将会膨胀变形
下列哪些因素不会影响到显影效果的是()。A.显影液的温度B.显影液的浓度C.显影液的溶解度D.显影液的化学成分
单项选择题下列哪些因素不会影响到显影效果的是()。
A.显影液的温度 B.显影液的浓度 C.显影液的溶解度 D.显影液的化学成分