在紫外光曝光、X射线曝光、电子束曝光技术中可实现直写式曝光不需要掩模版的是X射线曝光技术。

通常称在低阻衬底材料上生长高阻外延层的工艺为正向外延，反之称为反向外延。

判断题通常称在低阻衬底材料上生长高阻外延层的工艺为正向外延，反之称为反向外延。

PSG高温回流需要的温度要比BPSG高。

判断题PSG高温回流需要的温度要比BPSG高。

LPCVD多晶硅和氮化硅等薄膜易形成保形覆盖，在低温APCVD中，非保形覆盖一般比较常见。

判断题LPCVD多晶硅和氮化硅等薄膜易形成保形覆盖，在低温APCVD中，非保形覆盖一般比较常见。