名词解释
在单晶衬底上按衬底晶向生长一层新的单晶薄膜的工艺技术。
保形覆盖
名词解释保形覆盖
PECVD（等离子增强CVD）
名词解释PECVD（等离子增强CVD）
LPCVD（低压CVD）
名词解释LPCVD（低压CVD）
