问答题
叙述氮化硅的湿法化学去除工艺。
问答题叙述氮化硅的湿法化学去除工艺。
哪种化学气体经常用来刻蚀多晶硅？描述刻蚀多晶硅的三个步骤。
问答题哪种化学气体经常用来刻蚀多晶硅？描述刻蚀多晶硅的三个步骤。
描述电子回旋共振（ECR）。
问答题描述电子回旋共振（ECR）。
