问答题
两种主要的光反射问题是反射切口和反射驻波，在刻蚀形成的垂直侧墙表面，反射光到不需要曝光的光刻胶中就会形成反射切口，光刻中......
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陈述分辨率公式。影响光刻分辨率的三个参数？
问答题陈述分辨率公式。影响光刻分辨率的三个参数？
什么是数值孔径（NA），陈述它的公式，包括近似公式？
问答题什么是数值孔径（NA），陈述它的公式，包括近似公式？
解释透镜压缩是怎么发生的，它产生了什么问题？
问答题解释透镜压缩是怎么发生的，它产生了什么问题？
