单项选择题

晶硅栅极刻蚀最大的挑战就是对二氧化硅的高选择性。超薄的()使得在刻蚀多晶硅电极时对它的刻蚀要尽可能的小。

A.n型掺杂区
B.P型掺杂区
C.栅氧化层
D.场氧化层