多项选择题
A.在表面进行化学反应，在表面淀积成薄膜B.副产物脱离吸附C.脱吸副产物逸出反应室D.反应剂传输至衬底表面，反应剂吸附在表面
CVD薄膜有哪些应用？（）A.钨塞B.钝化层C.层间介质BPSG
多项选择题CVD薄膜有哪些应用？（）
A.钨塞B.钝化层C.层间介质BPSG
CVD技术可以制备的薄膜有（）。A.SiO2B.单晶硅C.BSGD.Si3N4
多项选择题CVD技术可以制备的薄膜有（）。
A.SiO2B.单晶硅C.BSGD.Si3N4
溅射方法从本质上可分为（）。A.反应溅射B.直流溅射C.磁控溅射D.射频溅射
多项选择题溅射方法从本质上可分为（）。
A.反应溅射B.直流溅射C.磁控溅射D.射频溅射
