成膜温度越高，膜层晶粒越大。

真空度低会导致沉积的金属膜容易发生氧化。

判断题真空度低会导致沉积的金属膜容易发生氧化。

PVD的优点是阶梯覆盖能力强。

判断题PVD的优点是阶梯覆盖能力强。

Endura5500 degas腔的作用为（）。A.除湿气，增加结合力B.转向，确保wafer角度一致C.去除...

多项选择题Endura5500 degas腔的作用为（）。